下载一种半导体检测设备零部件用研磨装置的技术资料

文档序号:41198701

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本发明公开了一种半导体检测设备零部件用研磨装置,包括机架,所述机架一侧壁固定有支撑箱,所述支撑箱上转动设置有对半导体研磨的放置转盘,所述机架下表面设置有第一动力机构,且所述动力机构的输出端与放置转盘相配合,所述放置转盘上开设有第一放置槽,所...
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