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用于产生线性结构光图案和泛光照明的VCSEL芯片制造技术
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下载用于产生线性结构光图案和泛光照明的VCSEL芯片的技术资料
文档序号:41197078
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一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)芯片包括结构光(SL)VCSEL阵列和填充VCSEL阵列。SL VCSEL阵列包括位于衬底上的多个第一VCSEL。填充VCSEL阵列包括位于衬底上的多个第二VCSEL。填充VCSEL阵列被定位成与衬底上的...
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