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本技术公开了一种用于碳化硅芯片生产的测试装置,包括有:支架,所述支架的顶部固定安装有置物台,所述置物台的顶部固定连接有框架;测试机构,其设置于置物台的上方,包括有推拉板和安装板;本技术通过设置第一刹车电机、凸轮、弹簧和连接板,通过启动第一刹...该专利属于圣艾克半导体(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过圣艾克半导体(苏州)有限公司授权不得商用。
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