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本申请提供了一种硅片收片系统，包括主输送线、料篮承载机构、第一收片机构、缓存机构及第一AGV转运机构，其中：主输送线输送硅片，主输送线的输送路径上设有合格硅片下料工位；料篮承载机构位于合格硅片下料工位边侧，用于承载料篮；第一收片机构用于将合...
该专利属于无锡奥特维科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥特维科技股份有限公司授权不得商用。

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