下载用于涂覆部件的沉积支撑装置和方法的技术资料

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一种用于涂覆部件的沉积支撑装置和方法,该沉积支撑装置包括限定内部并且具有提供通向内部的开口的掩蔽容器。至少一个屏障板具有部件孔,其中部件延伸穿过部件孔,并且部件的第一部分位于内部内并且部件的第二部分在至少一个屏障板上方延伸。...
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