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本发明提供能够缩短隔热部的冷却时间的技术，涉及基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法以及记录介质。具有：处理容器，其处理基板；盖，其封闭该处理容器的下方的开口；升降机，其使该盖上下移动；隔热部，其被设置在所述盖与所述基板之间，具有...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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