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本发明公开了一种基于兰姆波谐振器的三轴加速度计及其制备方法。本发明基于兰姆波谐振器的三轴加速度计采用兰姆波谐振器进行加速度检测，兰姆波谐振器具备Q值高，频率稳定度高的优点，且其谐振频率对外部加速度的变化极为灵敏，因此可以实现高分辨率、低噪声...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。

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