【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于传感器芯片，具体涉及一种基于兰姆波谐振器的三轴加速度计及其制备方法。
技术介绍
1、高精度、低漂移的导航级加速度计在自动驾驶、军工、消费电子等领域有着广泛的应用需求。
2、典型的导航级加速度计包括光纤加速度计、石英谐振加速度计、力平衡加速度计等，这些类型的加速度计虽然具备高精度与低漂移特性，但由于采用了较为传统的制造工艺，其体积与功耗均较高。
3、微机电系统(mems)是采用微纳加工技术制备的微型机械电子系统，可以在芯片尺度实现机电传感器与执行器的制备。基于mems技术的加速度传感器包括电容式、压阻式、压电式、热式加速度计等。然而现有mems加速度传感器通常漂移较大且精度较低，无法满足导航级应用需求，仅能应用于消费级电子产品。
4、比如，公开号为cn116593735a的专利技术申请公开了一种mems电容式加速度计及其制备方法，所述mems电容式加速度计包括：第一衬底；第一电极层和支撑层，设置于第一衬底，并且支撑层位于第一电极层外侧；弹性件和弹性件底盘，弹性件的第一端插置于第一电极层与第...
【技术保护点】
1.一种基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述衬底的空腔的横截面为方形，所述质量块的横截面也为方形，所述质量块的顶面四条边各自的中间通过一条所述悬浮压电薄膜与所述衬底连接；其中，所述质量块的顶面四条边中相对两条边的两条悬浮压电薄膜沿一条直线排列，相邻两条边的两条悬浮压电薄膜垂直排列。
3.根据权利要求2所述基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，每条所述悬浮压电薄膜的宽度为1μm～200μm；
4.根据权利要求1所述基于兰姆波谐振器的三轴加速度计...
【技术特征摘要】
1.一种基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述衬底的空腔的横截面为方形，所述质量块的横截面也为方形，所述质量块的顶面四条边各自的中间通过一条所述悬浮压电薄膜与所述衬底连接；其中，所述质量块的顶面四条边中相对两条边的两条悬浮压电薄膜沿一条直线排列，相邻两条边的两条悬浮压电薄膜垂直排列。
3.根据权利要求2所述基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，每条所述悬浮压电薄膜的宽度为1μm～200μm；
4.根据权利要求1所述基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述兰姆波谐振器的类型为以下一种：单侧叉指电极激励的兰姆波谐振器，上叉指配合下平板电极激励的兰姆波谐振器，上下均为叉指激励的兰姆波谐振器，上下均为平板电极激励的兰姆波谐振器。
5.根据权利要求1所述基于兰姆波谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述衬底的材质选自以下至少一种：硅、碳化硅；优选的，所述衬底和封装衬底通过掺杂降低电阻...
【专利技术属性】
技术研发人员：高峰，王晓毅，董树荣，阿卜杜勒克里姆哈利夫，阿民伯马克，
申请(专利权)人：浙江大学杭州国际科创中心，
类型：发明
国别省市：
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