温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了用于处理基板的设备，其可以包括干燥腔室，干燥腔室被配置成对从原始基板分割的至少两个分割基板进行干燥，所述干燥腔室可以具有干燥空间，至少两个分割基板设置在干燥空间中。用于处理基板的设备可以包括干燥度补偿部，干燥度补偿部被配置成补偿...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。