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本申请实施例提供一种位置测量装置、半导体器件制造设备、半导体器件的制造方法、可移动工作台的参考位置的测量方法。涉及定位方法技术领域。提供一种可以实现六个自由度位置测量的装置。该位置测量的装置包括第一测距传感器、第二测距传感器、第三测距传感器...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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