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本发明提供一种处理系统，包含离子源，离子源具有：等离子腔室，用于容纳等离子；提取组合件，沿等离子腔室的一侧安置且包含至少一个提取孔隙；以及天线组合件，延伸穿过等离子腔室。天线组合件可包含介电外壳和延伸穿过介电外壳的多个导电天线，导电天线具有...
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