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一种碳化硅晶体生长装置制造方法及图纸
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下载一种碳化硅晶体生长装置的技术资料
文档序号:41181684
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本技术实施例提供了一种碳化硅晶体生长装置,涉及碳化硅晶体生长技术领域。碳化硅晶体生长装置包括坩埚。坩埚包括多个沿轴向间隔排布的支撑台,支撑台设置有分隔柱,分隔柱的轴线与坩埚的轴线同轴,分隔柱开设有供碳化硅气氛通过的通气孔,坩埚底部设置有分隔...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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