下载一种提高套刻量测精度的方法和系统的技术资料

文档序号:41180107

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本发明公开了一种提高套刻量测精度的方法,包括调整镜头的位置,以将套刻标记分为内标记聚焦区域和外标记聚焦区域;分别对内标记聚焦区域和外标记聚焦区域进行图像清晰度评价,以获取第一清晰焦面位置和第二清晰焦面位置;获取第一清晰焦面位置和第二清晰焦面...
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