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包含阶梯结构的微电子装置以及相关的电子系统及方法制造方法及图纸
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文档序号:41179178
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一种微电子装置包含:堆叠结构,其包含布置成层级的导电结构与绝缘结构的竖直交替序列、竖直延伸到所述堆叠结构中且在所述堆叠结构的两个内部侧壁之间界定的电介质填充开口;体育场结构,其在所述堆叠结构内且包括由所述层级中的至少一些的水平端界定的台阶;...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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