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本申请提供一种流道开闭装置，应用于流道开闭技术领域，其中，包括装置盖、装置本体、螺纹杆件、缓冲圈、锁紧盖以及开闭件；装置本体与流道连通，以流通流体介质；装置盖连通装置本体；螺纹杆件通过螺纹连接的方式上下移动连接装置盖的内壁；开闭件连接螺纹杆...
该专利属于星奇（上海）半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过星奇（上海）半导体有限公司授权不得商用。

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