下载半导体结构的形成方法的技术资料

文档序号:41175606

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一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底上包括第一区和第二区;在所述衬底上形成伪栅,所述第一区上的伪栅的间距小于第二区上的伪栅的间距;在所述衬底上和所述伪栅侧壁上形成初始介质层,所述第一区上的初始介质层的表面高于所述第二区上的初始...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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