温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

发明涉及半导体技术领域，提供了一种隔热件、键合设备及光刻设备，所述隔热件包括：隔热板；所述隔热板具有隔热面；所述隔热板包括多个阵列排布并相互连接的隔热单元，所述隔热单元上具有单元面，各所述单元面朝向同一方向设置构成所述隔热面，相邻所述单元面...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。