温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及一种设备前端模块，包括机架，机架的内部构成有用于输送晶圆的输送室，输送室内的右侧连接有用于抓取晶圆的多轴机械手，所述输送室内的左侧连接有用于晶圆校准的晶圆校准器，输送室内的前端连接有第一晶圆盒台和第二晶圆盒台，第一晶圆盒台和第二晶...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。