温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种晶圆状态检测装置及检测系统，其中，晶圆状态检测装置包括承载结构和多个传感单元；承载结构包括卡盘和多个支撑件，多个支撑件沿所述卡盘的周向均匀分布，且各支撑件沿卡盘的轴向可活动地穿设于卡盘；各支撑件具有第一端和第二端，多个支撑件的...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。