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本技术公开了一种用于晶圆片搬运的机械手，包括X轴向驱动单元、设置在X轴向驱动单元上的Z轴向驱动单元、设置在Z轴向驱动单元上的Y轴向驱动单元、设置在Y轴向驱动单元上的晶圆取放单元，Y轴向驱动单元与Z轴向驱动单元之间设置转向单元，晶圆取放单元包...
该专利属于苏州启航电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州启航电子有限公司授权不得商用。

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