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本申请公开了一种集成电路缺陷检测方法及系统,涉及集成电路缺陷检测技术领域,本申请集成电路缺陷检测方法包括集成电路功能测试、集成电路功能分析、表面缺陷数据获取分析、内部缺陷数据获取分析、缺陷预警,通过对各传感器中的集成电路进行功能测试和分析,...该专利属于西安源易通电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安源易通电子科技有限公司授权不得商用。
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