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本发明涉及单晶生长技术领域，具体涉及一种液相法生长碳化硅的称重装置及其工作方法；本发明提供了一种液相法生长碳化硅的称重装置，包括：反应炉、支撑架、升降机构、切断件、籽晶杆和称重装置，所述支撑架竖直固定在反应炉上方，所述升降机构滑动设置在所述...
该专利属于常州臻晶半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州臻晶半导体有限公司授权不得商用。

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