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本发明公开了一种超纯硅涂层及其喷涂工艺，包括SiC(碳化硅颗粒)和Si3N4(碳化硅晶体)组成，将所述SiC(碳化硅颗粒)、Si3N4(碳化硅晶体)的颗粒通过气相沉积法沉积高温粘合剂用来包覆碳化硅、氮化硅的陶瓷颗粒。该超纯硅涂层及其喷涂工艺...该专利属于咸阳新兴利莱激光智能装备制造产业发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过咸阳新兴利莱激光智能装备制造产业发展有限公司授权不得商用。