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(a)通过对在表面设有凹部的衬底供给第1成膜剂，从而在上述凹部内形成第1膜的工序；(b)通过对上述衬底供给第2成膜剂，从而在形成于上述凹部内的上述第1膜上形成化学组成与上述第1膜不同的第2膜的工序；(c)通过对上述衬底供给含氟的改质剂，使上...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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