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本发明公开一种电子束分束模块及其制备方法，电子束分束模块包括有分束模块本体，所述分束模块本体的一侧面上设置有反射层，所述反射层上设置有荧光粉层，所述荧光粉层由阴极射线荧光粉沉积形成。当电子枪发射出的电子束撞击到本发明的电子束分束模块的表面时...
该专利属于广东省科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广东省科学院半导体研究所授权不得商用。

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