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一种二维半导体材料化学气相沉积装置制造方法及图纸
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下载一种二维半导体材料化学气相沉积装置的技术资料
文档序号:41152240
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本技术公开了一种二维半导体材料化学气相沉积装置,属于二维半导体材料制造技术领域,其中,包括支撑板和基板,所述支撑板顶部固定连接有操作框,所述操作框内部侧面固定连接有两个导气管,所述操作框内部顶端固定连接有两个固定杆;其有益效果是,通过设置旋...
该专利属于西安石油大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安石油大学授权不得商用。
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