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本技术公开了一种晶圆键合自动连通管路，主要涉及晶圆键合领域。包括密封外管道，所述密封外管道连通离子束刻蚀机与热压炉，使得离子束刻蚀机与热压炉之间连通；所述密封外管道内部设有晶圆移动装置和晶圆辅助定位输送装置；所述晶圆移动装置为传送带，所述晶...
该专利属于刘法辰所有，仅供学习研究参考，未经过刘法辰授权不得商用。

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