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本发明提供了一种MOCVD设备，所述MOCVD设备包括：反应腔壳，用于提供供反应气体发生化学反应的环境；进气口和排气口，分别用于向反应腔壳内供应反应气体和从反应腔壳内排出气体；以及内筒(41)，设置在反应腔壳内，并且内筒(41)与反应腔壳之...
该专利属于杭州龙圣外延科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州龙圣外延科技有限公司授权不得商用。

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