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本发明公开了用于制造半导体芯片的高纯化学品的输送系统，包括罐体,所述罐体的顶部设置有进料口，所述罐体的一侧设置有补充口，所述补充口的一侧设置有密封门，所述罐体的圆周外壁固定连接有支撑腿，所述支撑腿的数目为三组，三组支撑腿在所述罐体的圆周外壁...
该专利属于江苏雅克福瑞半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏雅克福瑞半导体科技有限公司授权不得商用。

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