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一种光学邻近修正方法，包括：提供设计图层，设计图层包括第一设计图形和第二设计图形；根据设计图层获取辅助图层，辅助图层包括第一辅助图形和第二辅助图形；根据设计图层获取初始目标图层，初始目标图层包括初始第一目标图形和初始第二目标图形；以辅助图层...
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