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本技术涉及一种金刚石膜生长用的基片台，包括有基板和设置在基板上的衬底，所述衬底供氢气和一种或多种烃气体的室中暴露于微波辐射以形成金刚石膜，其特征在于：所述衬底设置有至少两个，每个衬底独立地对应于自身待加工的金刚石膜的规格，而所述基板上设置有...
该专利属于宁波晶钻科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波晶钻科技股份有限公司授权不得商用。

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