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本发明提供了一种多自由度敏捷检测装置和检测方法，属于高精密多自由度驱动的光学检测领域，多自由度敏捷检测装置包括设置在台架板上方的物料纵向驱动台、旋转物料载台、检测驱动组件和光学检测组件；旋转物料载台设置在物料纵向驱动台上，并被物料纵向驱动台...
该专利属于苏州天准科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天准科技股份有限公司授权不得商用。

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