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本发明提供了一种带吹扫的遮挡装置及气相沉积设备，遮挡装置包括遮挡件，环绕反应腔的内侧壁设置，并具有隔离壁，隔离壁包括第一侧面和第二侧面，隔离壁包括位于上端的直筒部和位于下端的喇叭部，直筒部的径向尺寸一致，喇叭部的径向尺寸由上至下逐渐增大，喇...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

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