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本申请公开了一种大硅片切割液、其制备方法和用途；以质量份计，切割液包括如下组分：20‑40份的润湿剂，1‑10份的润滑剂，0.1‑2份的防腐剂，20‑40份的去离子水，5‑20份的有机溶剂；其中，润滑剂用于在所述硅片表面形成保护膜，防腐剂用...
该专利属于浙江奥首材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江奥首材料科技有限公司授权不得商用。

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