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本发明公开了一种半导体生产设备及工艺方法，包括机体，传动连接在机体右侧的输送组件，放置在输送组件顶部的基板，所述机体的右侧设置有清理结构，所述清理结构的内部设置有位于基板顶部的传动结构。本发明通过设置摆杆，能够对基板进行定位，防止基板出现翘...
该专利属于杭州泽达半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州泽达半导体有限公司授权不得商用。

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