下载成膜装置的技术资料

文档序号:41141214

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在喷镀法中使用的成膜装置具备:喷枪,其包括喷嘴(2b);粉末供给部,其向上述喷枪供给成为成膜原料的粉末;以及气体供给部,其向喷枪供给工作气体。喷嘴(2b)具有:不锈钢管(23),其作为喷嘴管;陶瓷管(22),其与不锈钢管(23)的供工作气体...
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