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微型流体泵制造技术
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文档序号:41137534
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一种微型流体泵,包含:第一基板,设有流体通槽,以及至少一第一流体通道;第一接着层;第二基板,其中第一基板、第一接着层、第二基板依序由下而上叠设,并定义出第二流体通道,第二基板更包含至少一穿孔;第二接着层;第三基板,其中第二基板、第二接着层、...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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