下载一种三维稳态微波等离子体数学模型及其快速仿真方法的技术资料

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本发明公开了一种三维稳态微波等离子体数学模型及其快速仿真方法,涉及等离子体仿真领域;其中,仿真方法包括如下步骤:首先通过多物理场仿真软件进行几何建模;再根据亥姆霍兹方程求解整个等离子体模型的微波电场E<subgt;EM</sub...
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