下载掩膜版及其制备方法、蒸镀设备的技术资料

文档序号:41135491

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本发明提供了一种掩膜版及其制备方法、蒸镀设备。掩膜版具有蒸镀区、遮挡区以及过渡区,遮挡区围绕至少部分蒸镀区,过渡区位于蒸镀区与遮挡区之间。掩膜版包括位于蒸镀区的主体部、位于蒸镀区且贯穿主体部的蒸镀孔、与主体部连接并位于过渡区中的过渡部以及与...
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