温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种沉积设备包括：汽化部，所述汽化部包括容器、加热部、冷却罩和防附着部，所述容器容纳沉积初步材料，所述加热部围绕所述容器并加热所述沉积初步材料以汽化成沉积材料，所述冷却罩围绕所述加热部并冷却所述加热部，所述防附着部位于所述冷却罩与所述加热部...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。