【技术实现步骤摘要】
本公开涉及沉积设备，更具体地，涉及竖直型沉积设备。
技术介绍
1、作为用于显示图像的装置，发射显示装置被使用。发射显示装置可以通过像素的组合来表现图像，并且像素可以通过发光二极管(led)来实施。
2、发光二极管(led)可以包括阳极、阴极和形成在它们之间的发射层。发光二极管(led)的发射层和阴极可以通过使用沉积设备的沉积方法形成。例如，其上将形成发射层或阴极的基板被布置在其上形成图案(例如，预定或可选择图案)的掩模上，发射层或阴极的材料穿过掩模的图案，然后匹配掩模图案的发射层或阴极可以沉积在基板上。
3、沉积设备可以包括将沉积原材料加热并汽化成沉积材料的汽化单元(或汽化部)。汽化单元可以包括坩埚、用于加热坩埚的加热单元(或加热部)和用于冷却加热单元的冷却罩。特别地，由于与水平型沉积设备相比，竖直型沉积设备具有各种连接部，因此沉积材料通过这些连接部之间的间隙泄漏的可能性增加。即使少量的沉积材料被注入到连接部之间的间隙中，在长时间使用沉积设备的情况下，高温的沉积材料可能附着到冷却罩并凝结，从而导致污染物出现或形成...
【技术保护点】
1.一种沉积设备，包括：
2.根据权利要求1所述的沉积设备，其中：
3.根据权利要求1所述的沉积设备，其中所述紧固部包括：
4.根据权利要求1所述的沉积设备，其中所述冷却罩包括：
5.根据权利要求4所述的沉积设备，其中所述防附着板包括彼此分离并分别覆盖所述多个侧壁盖的多个分离防附着板。
6.根据权利要求4所述的沉积设备，其中所述防附着板包括将所述多个侧壁盖一起覆盖的整体防附着板。
7.根据权利要求4所述的沉积设备，其中所述汽化部进一步包括引导部，所述引导部安装在所述冷却罩与所述加热部之间并被配置以...
【技术特征摘要】
1.一种沉积设备，包括：
2.根据权利要求1所述的沉积设备，其中：
3.根据权利要求1所述的沉积设备，其中所述紧固部包括：
4.根据权利要求1所述的沉积设备，其中所述冷却罩包括：
5.根据权利要求4所述的沉积设备，其中所述防附着板包括彼此分离并分别覆盖所述多个侧壁盖的多个分离防附着板。
6.根据权利要求4所述的沉积设备，其中所述防附着板包括将所述多个侧壁盖一起覆盖的整体防附着板。
7.根据权利要求4所述的沉积设备，其中所述汽化部进一步包括引导...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔钟贤，徐敏逵，薛在完，尹引泽，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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