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物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能同时实现高灵敏度化和低阻尼化。物理量传感器(1)包含：基板(2)，其设置有第1固定电极(24)；可动体(3)，其包含与第1固定电极对置的第1质量部(34)。第1质量部包含第1区域(61)和远...
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