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本发明公开了一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置，该等离子体约束装置包含多个环绕所述下电极组件依次排列的间隔件，所述间隔件呈环状，各个间隔件之间形成气体通道，所述间隔件包含一朝向所述下电极组件设置的内侧面和一顶面，至少一个间隔件的顶面包...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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