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本发明涉及一种在基板载体上对平坦基板(尤其是平坦玻璃基板)进行多步骤处理的设备和方法，其中多个空间上分离的处理站通过基板载体输送装置相互连接，基板载体通过基板载体输送装置从一个处理站输送到下一个处理站，以便使放置在基板载体上的平坦基板依次经...
该专利属于肖特股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过肖特股份有限公司授权不得商用。

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