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本发明涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种氧化膜及其制备方法、太阳能电池。本发明的氧化膜制备方法包括：将硅片依次进行第一次氧化处理和第二次氧化处理，所述第一次氧化处理的氧气流量小于所述第二次氧化处理的氧气流量，所述第一次氧化处理的压力小于所...
该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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