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本发明提供了一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器，通过对基底和压电层之间的至少部分膜层交界面进行改进，使其形成粗糙面结构，在声表面波谐振器工作时产生的声表面波部分只在叉指电极所在区域的下方产生，并且沿着平行于基底所在平面的方向传播，并不会...
该专利属于浙江星曜半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江星曜半导体有限公司授权不得商用。

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