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压阻式加速度计的器件级无引线异构集成结构及工艺制造技术
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下载压阻式加速度计的器件级无引线异构集成结构及工艺的技术资料
文档序号:41131331
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本发明涉及电子产品封装,公开一种压阻式加速度计的器件级无引线异构集成结构及工艺,以减少封装尺寸的同时确保可靠性。结构包括:陶瓷管壳底面形成与管壳侧壁对外焊接点连接的有金属化图形;硅衬底在三边设置有传输ASIC电路输出信号用的直筒状的金属通孔...
该专利属于湖南云箭集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南云箭集团有限公司授权不得商用。
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