温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开能够在半导体工艺或显示器工艺中轻易地诊断设备的性能的能够大面积测量的监测设备。所述监测设备包括保护层、排列于所述保护层内部的空间的基板及排列于所述基板上的至少一个电子元件。其中，所述电子元件具有至少一个传感器，所述监测设备利用所述传感器...
该专利属于维特株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过维特株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。