下载光感应芯片及其制备方法、激光雷达及电子设备的技术资料

文档序号:41129675

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本申请涉及半导体封装技术领域,提供一种光感应芯片及其制备方法、激光雷达及电子设备;制备方法包括如下步骤:提供一晶圆;晶圆包含多个可切割分离的芯体,芯体包括基底和设置在基底上的光检测模组;提供一透光体;透光体与晶圆适配;于晶圆或透光体中的至少...
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