下载一种高寿命的稳定蚀刻液生产设备的技术资料

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本发明涉及蚀刻液生产技术领域,提供一种高寿命的稳定蚀刻液生产设备,包括:液体原料输送装置、粉末原料输送装置、惰性气体供给装置和反应釜;所述液体原料输送装置包括液体原料罐、液泵、第一输料管、第一电控阀门、第一竖直管和第一喷料管;所述粉末原料输...
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