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一种高寿命的稳定蚀刻液生产设备制造技术
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文档序号:41129496
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本发明涉及蚀刻液生产技术领域,提供一种高寿命的稳定蚀刻液生产设备,包括:液体原料输送装置、粉末原料输送装置、惰性气体供给装置和反应釜;所述液体原料输送装置包括液体原料罐、液泵、第一输料管、第一电控阀门、第一竖直管和第一喷料管;所述粉末原料输...
该专利属于福建钰融科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建钰融科技有限公司授权不得商用。
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